質(zhì)量流量計(jì)是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。熱式流量開(kāi)關(guān)熱導(dǎo)式流量開(kāi)關(guān)。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén)，閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于低值(0.1MPa)，有可能控制達(dá)不到滿(mǎn)量程值;若高于最高值(0.3MPa)，有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶(hù)使用MFC時(shí)，無(wú)論用戶(hù)工作的反應(yīng)室是真空還是高壓，應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi)，并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。那么如果質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)流量偏差是一件非常嚴(yán)重的事情，因此當(dāng)出現(xiàn)偏差的問(wèn)題我們需及時(shí)的解決，今天跟大家淺談質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)流量偏差的解決方法；

　　一、檢查出現(xiàn)偏差方法

　　1.零點(diǎn)是否有漂移，首先需接通電源，質(zhì)量流量控制器信號(hào)為0的情況下，則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào)；

　　2.氣體是否純凈，如果盤(pán)路有污染，那么流量就肯定會(huì)收到影響，這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專(zhuān)業(yè)維修中心接受A/S；

　　3.質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力，如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠就會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程。